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            潔凈室與靜電分析

            1、潔凈室 
            半導體、平面液晶顯示器、光電子和生物醫藥都需求潔凈的出產車間,一般潔凈室是指空間空氣懸浮粒子濃渡被操控在規則邊界內的房間或限制空間,這塵土粒子的粒徑越小和被限制的粒數越小,潔凈度便越高。 2、潔凈室的靜電 
            因為潔凈室的潔凈度請求,室內運用 
            ①許多的高**緣介質裝修資料、地上、墻、門、頂棚、間隔、作業臺、椅子等等,這些資料沖突簡單起電帶電,不易走漏釋放。 
            光刻間塑料地上500V~1000V,分散間塑料地上500V~1500V,瓷磚地上也有500V~1500V,塑料墻紙700V,塑料頂棚OV~1000V,金屬活動皮芏椅面500V~3000V。 
            ②人穿潔凈廠服、鞋、步行或作業時,與不一樣物質設備器件沖突要發生靜電,人、衣服、鞋都會帶電。 人穿尼龍衣、塑料膠底鞋緩慢地在清洗的地板上走動,人身上帶7000V~8000V靜電壓。在乙烯基地板上行走可帶1200V(10%~20%RH)、250V(65%~90%RH)靜電壓,在地毯上行走可帶35000V(10%~20%RH)、1500V(65%~90%RH),晶片安裝線工人穿的廠服可達10KV。 
            ③空調氣流通過初效過濾器、中效過濾器、高效過濾器,凈化出口氣流是帶靜電的。鋁板送風口、回風口約為500~1000V。 
            ④許多的**緣器件、配備和東西,也是主要的靜電電荷源。晶片安裝出產線:晶片裝料盒35KV,有機玻璃蓋8KV,石英制品1.5KV,晶片托盤6KV,丙烯酸脂蓋20KV,臺桌面10KV,塑料存貯柜30KV,玻璃纖維晶體載料盒滑過聚丙烯桌面帶10KV。 
            總之:潔凈室的潔凈度請求越高,靜電帶電便越嚴峻。  
            二、潔凈室靜電的損害 1、靜電庫侖力 
            在靜電庫侖力的效果下,吸附的粉塵、污物構成元器件增大走漏或構成短路,使功能受損,成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm,鋁線寬度約100μm,氧化膜厚度在50μm時,**易使商品作廢?,F在線徑更細,氧化膜很薄,粒徑很小的塵粒子就會損害元器件,這種景象多發作在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等技術進程中。 2、靜電放電ESD 
            (1)元器件的**緣氧化膜被擊穿,引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷,觸摸器件腳時發作ESD,其向大地剎那間構成脈沖放電電流峰值可達20A(10~100s),不要說高密度,細線徑,薄SiO2膜的Lsi、Vlsi,即是一般IC、MOS都會遭受損壞。 
            一般說器件**緣柵SiO2薄膜的耐壓場強是E=(5-10)×106V/cm,假如器件SiO2膜厚度取1000,其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿,而人體帶靜電超越50V、100V是極往常的。 (2)構成噪聲、發射電磁波攪擾 
            ESD導致EMI其電磁波的前后峰較尖,信號強,相當于電路中幾伏的能量,頻率跨過幾MH2甚幾百MH2的強壯噪聲,也許導致元器件損壞,設備和傳感器不正常作業,乃**導致設備死機。 
            ESD導致的EMI還會引發過錯信號的輸入,或發作鎖存現象。如無塵室中,將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車上,晶圓片的ESD會通過電感傳給手推車,車輪是**緣的,則EMI的分散會導致晶圓片處理機死機。 
            (3)電擊人體 
            人體的ESD或對人體的ESD當超越人體電擊極限電流5mA以上時,人都會有各種傷害感受,構成作業人員的心情不安,操作過錯。 
            半導體,平面顯示器,光電子等潔凈室,雖然做了許多作業,但潔凈室的靜電疑問依然影響著出產安全和商品產量,影響著制構本錢和效益,影響商品的質量和可靠性。據**外工業**估量,美**每年因為靜電構成商品的丟失平均在8-33%,還有人估量美**每年靜電對電子工業毀損價值達100億美元;日本80年代曾對作廢的電子商品進行剖析,由ESD導致的丟失占1/3。中**半導體、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚,但靜電損害也時有發作,成品率較低。而銀行、證券公司、機要數據庫、監控基地,電力調度室等等,若呈現ESD就很簡單導致攪擾,數據遺失,景象就更嚴峻了。  
            三、潔凈室靜電操控 1、靜電操控的基本原則 (1) 斷定靜電操控等級 (2)盡量削減靜電荷的發生 
            (3) 泄放和中和的辦法加快靜電荷散失,避免靜電堆集 (4)維護商品不受ESD的損壞 2、斷定靜電操控的等級 
            (1)元器件、組件和設備靜電靈敏度分級 1級:易遭受0-1999V靜電電壓損壞的 2級:易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的 3級:易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的 
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