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            進入潔凈室的材料、設備以及機器(3)

            1. 固定設備進入的程序 
            為了避免發生大型固定設備進入“動態”潔凈室,也就是說潔凈室已投付正式運行, 還要進入大型固定設備,應該在管理計劃中盡可能排出。因為在這種特殊情況下,潔凈室 按ISO 14644 -2 “證明持續符合ISO 14644 - 1的測試和監測技術條件”的規定要重新認 證潔凈室,其工作是相當繁雜的。 
            正常情況下,通常是在空態或靜態條件下將固定設備送入。把設備送入潔凈室時,應該關注的問題是:整個過程都不應增加對環境的污染。 
            解決大型部件運進運出的**好辦法就是設計一個大型物流氣閘室。它足以將每件設備 運進運出潔凈室。如果條件允許,設計潔凈室時,宜考慮采納這個方案。 
            設備進出潔凈室的另一設計方案是在潔凈室的墻上開一組雙門,大得足以容納機器、大型設備件的通行。由于這樣的通道有可能直接與外走廊相通,因此**鎖住,只有設備需要進入時才打開。有些類型的墻板模塊可以取下來再安裝好又不對墻造成損壞,這樣的話,就不需要另開門洞。
            2. 可在潔凈室內墻一側建一個臨時氣閘室 
            所有準備進入的設備都要檢查在運輸中有無損壞,有損壞的設備應該在潔凈室外隔離 保護起來,待供貨商修復或另行處理。運輸用的板條箱、硬紙板等應該在鄰近潔凈室的未受控區內拆封,然后再運進受控環 境。如果沒有包裝,則設備的所有表面都應該予以清潔,然后再運進潔凈區。 
            理想的方法是在設備專用氣閘室內進行設備清潔,當設備過大時,宜于在氣閘室 或潔凈室附近臨時專門修建的房間內拆掉**外面的薄膜材料,作進人潔凈室前的清潔 
            工作。拆包過程如下: 
            1) 對設備外護層用吸塵設備進行清潔,從頂部開始,向兩側擴展; 2) 用適當的清潔劑擦拭外護層; 
            3) 從設備外護層的頂部撕開一個“工”型或“X”形切口,從頂部向下剝離外護層 4) 如果有多層包裝,每層包裝膜都要按2)、3)程序重復進行; 5) 所有運送設備人員進入氣閘室前都要穿上適當的潔凈服; 6) 所有移動用、搬運用的設備都應在氣閘室內進行清潔; 
            7) 在打開氣閘室靠潔凈室一側的門運入設備前,應先清潔氣閘室。     3.通過傳遞窗傳遞材料 
            除了物流氣閘室外,還有其他方法可將材料傳遞入潔凈室內供使用。將小型的物件傳 進傳出潔凈室通用的辦法就是使用傳遞窗。傳遞窗的工作方式與物流氣閘室相似,將物品傳遞入潔凈室,大致通過下述的 步驟: 
            1) 在潔凈室外面的人員打開傳遞窗的小門,對傳遞窗進行清潔; 2) 打開物品的一層包裝,將物品放入傳遞窗內; 3) 關閉傳遞窗的小門; 
            4) 在傳遞窗另一邊的人員打開傳遞窗的內門,取出物品。對取出的物品進行清潔。 在污染控制要求嚴格的場合,則再打開物品的另一層包裝。傳遞窗一般都帶有電子或機械的聯鎖裝置,防止兩個小門被同時打開,這樣可防止外部空氣流入潔凈室。有時將傳遞窗建在與地面水平的位置,便于較重的物品通過傳遞窗 
            4.固定設備運入的機械 
            如有可能,大型設備應該臨時拆卸為能安全進人潔凈室的組件,使潔凈室設備運入過程的風險降低。因為這些大型裝設搬運中,與潔凈室圍護結構表面接觸時,可能發生磨損、撞傷,并產生污染。 
            所有用于大設備、組件的提升、牽引或定位的專用設備,在進入潔凈室前**徹底清 潔。這類設備多數不是專為潔凈室使用而設計、制造的,應徹底地檢驗有無膜屑,表面剝落狀況或不宜進入潔凈室的材料。
            通常宜用與潔凈室級別相適應的塑料薄膜或帶子包裹或密封這些設備的外表面。設備 如橡膠輪,宜用潔凈室專用塑膠帶(cleanroom - compatible plastic tape)包嚴,以免在地面 上**下橡膠或塑料微粒。 
            5.固定設備的安裝程序 
            **有效的措施是在設備安裝階段用臨時的隔墻或隔斷把設備所在位置與潔凈室隔離開 來。為不妨礙設備安裝,在設備周圍應留出足夠的空間,但同時也要注意隔離區空間適度,不宜過大。操作程序及其他注意事項如下: 
            1) 設備應盡可能通過服務通道或其他非**區(non-critical area)進人隔離區(dis- olation area),如不可能則應采取措施盡量減少污染。 
            2) 該隔離區的氣壓相對于周邊應維持中性或負壓。完全封閉的隔離區則應該截斷區內的潔凈空調送風,以減少安裝時產生的污染物向外擴散。
            3) 應該事先制定計劃,明確對隔離區和周圍區域監控的方法和頻率,確保能及時發現污染物由隔離區向外滲透的情況。 
            4) 設備就位后,在架設各種動力設施,如電、水、氣體、真空、壓縮空氣和排水管道時,應采取措施控制操作過程產生的煙氣和殘渣,避免污染周圍的潔凈室,也有助于減輕拆除隔斷時的清潔工作量。 
            5) 在設備安裝工作完成后,清除隔離區內的污染,墻、地面、設 備等所有表面都要用真空吸塵器清掃、清理和擦拭。要特別注意設備護板后面和下面區域的清潔。 
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