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            進入潔凈室的材料、設備以及機器

            一、潔凈室用材的選擇 
            1.**仔細選擇潔凈室的各種用材,確保它們不會對室內造成污染。潔凈室內經常使用的材料與設備舉例如下: 
            1) 生產中使用的材料:在微電子工業中使用的硅晶片; 
            2) 產品包裝材料:如玻璃瓶、塑料瓶、塑料袋、預制的盒子等; 3) 工藝設備和機器; 
            4) 對設備和機器進行維修、校準、修理的工具以及轉動設備的潤滑劑等; 5) 人員服裝,如潔凈工作服、手套、指套、口罩、頭罩等; 6) 潔凈室清潔用品,如抹布與拖把; 
            7) 消耗性用品,如書寫紙張、圓珠筆、標簽、棉簽。 
            在大多數潔凈室中粒子和纖維都是環境污染的主要來源。所以,應避免在生產工藝中使用容易破損或散發粒子的材料。其表面帶有粒子和纖維的材料也應避免使用。 
            在半導體工業中,產品表面的化學品和空氣環境中的某些氣體分子可能形成的化合 物,會沉積在半導體的表面上,它們可能影響產品質量,甚**損壞半導體芯片。 
            在一些潔凈室中,那些無法將靜電不斷地傳導開的材料,可能會因為靜電荷的積累和放電使那些對靜電敏感產品會受到損壞。此外,靜電還會使材料產生靜電吸附效應而吸附粒子,造成污染問題。 
            選擇用于潔凈室內的生產材料,不僅僅要著眼于適合于生產工藝,而且也應關注是否有可能產生污染。顯然對那些既可能構成污染,但又是生產所需的材料和物品,只有在缺之不可的情況下才能使用,或只有在已經充分認識到了這些材料產生污染的問題,并考慮了其他替代材料但又確實都不適合后,才可使用。 
            2.以下所列舉的部分乃**全部物品,因其會造成潔凈室的嚴重污染,根據產品對污染的敏感性不同,一般禁止在潔凈室中使用。 
            1) 非潔凈室專用紙,如果一定要使用普通紙,應將其放入塑料袋內或采用雙面熱塑; 2) 鉛筆與橡皮、墨水中含有污染潔凈室環境的化學品、纖維頭書寫筆或者會劃紙的圓珠筆、修改液; 
            3) 用低碳鋼或其他會生銹、磨蝕、氧化的材料制成的物品; 4) 用機器加工或處理時會冒煙或破損的物品; 
            5) 用木頭、橡膠、紙張、皮革、毛、棉及其他天然材料制成的易破損物品; 6) 研磨材料或粉末、產生氣溶膠的瓶瓶罐罐;7) 不適合于在潔凈室中使用的一次性物品,如棉簽、膠帶、標簽; 
            8) 潔凈室人員不得將第8章8. 12節中開列出的個人物品帶入潔凈室內。 
            二、外部供應的物品及其包裝 
            如果物品的供應商對潔凈室要求知之甚少,或根本不予關心,那么它所供應的物品在進人潔凈室時可能已受到了嚴重污染。在某些情況下,這可能是造成污染的一個重要原因。因此,為解決這類問題應采取一些措施。 
            1. 外供物品宜在潔凈環境中產生 
            供應潔凈室的物品要求在潔凈環境中生產,其潔凈度標準宜與產品所供應的潔凈室相 同。如果外部供應物品交付時不能達到適當的清潔水準,則**在潔凈室中對其加以清 潔,但這樣做的效果可能差些。有越來越多的公司在潔凈環境中制造供應潔凈室生產所需 的零部件,潔凈室管理人員應該向本企業采購部門強調,要關注潔凈室物品供應商的生產 環境。應盡量選擇質優價廉,又是在相應潔凈環境中生產的潔凈室用品,以保證本企業潔 凈室的潔凈度和減少清潔外供物品的耗費。 
            參觀考察供應商的生產設施并檢查其生產環境是很必要的。外供物品生產廠家可能并 不熟悉潔凈室技術。所以,對他們的生產工藝的一些簡單建議和改進,就可能產生不錯的效果。即使制造廠家不具備潔凈生產環境,但只要有較高水平的潔凈管理條件,使用潔凈室用的手套、抹布、不起毛的服裝等,也可大大提高產品的質量。 
            2. 外供物品的包裝材料 
            應注意產品的存儲和包裝。如果加工的產品從生產設備上取下后立即用合適的潔凈包 裝方式包裝好,則周圍較差的生產環境對產品的影響就可以降****小。 
            外供物品的包裝方法和包裝材料**考慮所供應的潔凈室的潔凈度等級,包裝的尺 度、外形均應符合貯藏、運輸、開箱過程中防污染的要求,對包裝材料的主要要求有以下 幾點•. 
            1) 包裝材料的無污染性:要求包裝材料本身不產生粒子、纖維、污染氣體及蒸汽等, 不明顯地帶靜電,不與包裝品產生化學反應; 
            2) 包裝材料**使用能夠清潔到包裝物品所要求的潔凈度的材料; 
            3) 材料的強度及耐久性:包裝材料應承受溫濕度、外部作用力和紫外線等影響,能夠保證所要求的密封性,避免運輸、存放過程中破損而污染,以致將污染帶入潔凈室中。 
            潔凈室外供用品的良好包裝,不僅可以避免產品在運輸途中的損壞,也可以**大限度地避免產品受到外部環境的污染。常使用的塑料材料為塑料薄膜或預制的包裝塑料。塑料材料與其他許多材料相比,粒子、纖維、化學污染較少。塑料污染的大小取決于所使用的塑料種類、制造方法以及包裝 方式。所以,對所用塑料包裝是否適宜也要進行檢驗。有些塑料會產生靜電,從而可能損壞產品。如果使用防靜電塑料,它對粒子及纖維的 吸附作用也較小,因此也更潔凈。如果需要控制分子污染的話,則有些塑料包裝材料(如 PVC包裝材料),可能就不適用了。 
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